苏州中之纳半导体科技有限公司

溅射靶材,晶圆衬底,光刻胶

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硅靶Si、溅射镀膜硅靶、单晶硅片衬底蒸发镀膜半导体材料高纯度99.999%

发布者:殷丽丽 | 来源:苏州中之纳半导体科技有限公司发布时间:2025-03-19
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5000 件
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品牌
szzzn
   

Silicon (Si),硅靶材真空镀膜行业中高纯度溅射靶材

 

一、Silicon (Si),即硅,作为现代科技领域不可或缺的基础材料之一,硅靶材以其特的物理和化学特性,在半导体制造、光学器件、太阳能电池等多个高科技行业中发挥着至关重要的作用。硅靶材的高纯度、高密度以及显著的熔点特性,为其在这些领域的应用提供了坚实的基础和特的优势。我司专注研发与生产,铸就行业。公司生产单材质靶材、电子束蒸发颗粒材料如下:

SINGLE ELEMENTS 单材质靶材、电子束蒸发颗粒

Aluminum (Al)

Nickel (Ni)

Antimony (Sb)

Niobium (Nb)

Arsenic (As)

Osmium (Os)

Barium (Ba)

Palladium (Pd)

Beryllium (Be)

Platinum (Pt)

Boron (B)

Rhenium (Re)

Cadmium (Cd)

Rhodium (Rh)

Carbon (C)

Rubidium (Rb)

Chromium (Cr)

Ruthenium (Ru)

Cobalt (Co)

Selenium (Se)

Copper (Cu)

Silicon (Si)

Gallium (Ga)

Silver (Ag)

Germanium (Ge)

Tantalum (Ta)

Gold (Au)

Tellurium (Te)

Hafnium (Hf)

Tin (Sn)

Indium (In)

Titanium (Ti)

Iridium (Ir)

Tungsten (W)

Iron (Fe)

Vanadium (V)

Lead (Pb)

Yttrium (Y)

Magnesium (Mg)

Zinc (Zn)

Manganese (Mn)

Zirconium (Zr)

Molybdenum (Mo)


 

二、材料特性

,硅靶材的高纯度是其显著的特点之一。在高科技领域,尤其是半导体制造中,对材料的纯度要求。硅靶材通常要求纯度达到99.999%(即5N)甚至更高,以确保在制造过程中不会引入杂质,影响终产品的性能和稳定性。高纯度的硅靶材能够有效减少半导体器件中的缺陷和杂质,提高器件的导电性、热导性和机械强度,从而半导体器件的和可靠性。此外,高纯度的硅靶材还能减少在薄膜沉积过程中的污染,提高薄膜的质量和一致性,为后续的加工和应用提供良好的基础。

其次,硅靶材的高密度也是其重要的物理特性之一。硅的密度约为2.33g/cm³,这一特性使得硅靶材在溅射镀膜过程中能够提供稳定的溅射速率和均匀的薄膜厚度。高密度意味着硅靶材具有更好的结构稳定性和抗磨损性,能够在溅射过程中更好地承受高能离子的轰击,减少靶材的剥落和磨损,从而延长靶材的使用寿命。这对于需要长时间稳定运行的溅射设备尤为重要,因为频繁的靶材更换不仅会影响生产效率,还会增加生产成本。

硅的熔点约为1414°C,这一相对较高的熔点特性使得硅靶材在高温环境下仍能保持其物理和化学性质的稳定性。在溅射镀膜过程中,靶材会吸收大量的能量并转化为热量,而硅靶材良好的热传导性能可以有效地将这些热量传递出去,防止靶材过热。高温稳定性还意味着硅靶材在溅射过程中不会因为高温而产生不必要的化学反应,从而了薄膜的纯度和性能。这一特性使得硅靶材在需要高温处理的工艺中,如反应磁控溅射中沉积SiO2和SiN等介电层,具有显著的优势。

二、行业应用

在行业中,硅靶材的应用优势主要体现在以下几个方面。,在半导体制造领域,硅靶材因其高纯度和良好的电导性能而被广泛应用于制作的导电层和绝缘层。这些导电层和绝缘层在芯片内部起着连接和隔离的重要作用,其质量和稳定性直接关系到芯片的性能和可靠性。此外,硅靶材还被用于制备单晶硅、硅片和硅膜,具有的生产效率和稳定性,能够产品的。

其次,在光学器件制造领域,硅靶材因其高纯度和良好的光学性能而被广泛应用于制造各种的光学器件,如反射镜、透镜、滤光片等。硅靶材的高纯度能够光学器件的清晰、稳定和精度,提高光学器件的性能和可靠性。

此外,硅靶材还被广泛应用于太阳能电池制造、LED制造、传感器制造等多个领域。在太阳能电池制造中,硅靶材用于制备太阳能电池的导电层和反射层,提高太阳能电池的转换效率和稳定性。在LED制造中,硅靶材用于制备LED的衬底和封装材料,提高LED的发光效率和稳定性。在传感器制造中,硅靶材用于制备传感器的敏感元件和信号处理电路,提高传感器的灵敏度和准确性。

综上所述,硅靶材以其高纯度、高密度以及显著的熔点特性,在半导体制造、光学器件制造、太阳能电池制造等多个高科技领域中展现出的应用优势。随着科技的进步和市场的需求变化,硅靶材的制备技术和应用领域也将不断拓展和完善,为更多高科技产品的开发和生产提供更加的材料支持。


苏州中之纳半导体科技有限公司
联系人 殷丽丽
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传真 地址 江苏省苏州市姑苏区平江街道仓街140号6幢221室
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